基于虚拟仪器技术的新型少子寿命测试系统的研究 |
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引用本文: | 王磊,杨宇建,黄媛媛,王涛,陆绮荣.基于虚拟仪器技术的新型少子寿命测试系统的研究[J].电气时代,2012(3):106-108. |
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作者姓名: | 王磊 杨宇建 黄媛媛 王涛 陆绮荣 |
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作者单位: | [1]桂林理工大学机械与控制工程学院 [2]广西桂林现代教育技术中心 |
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摘 要: | 少子寿命是半导体材料的一个重要参数,对其电学特性及其晶体质量有重要影响。利用微波反射光电导技术(μ—PCD)作为非接触、非破坏性测量半导体特性的一种工具,结合虚拟仪器技术,利用Labview设计开发了一套虚拟仪器系统,是一种测试少子寿命的快速、有效的方法,并且具有较强的可维护性和可操作性,适合实验室和工业在线检测使用,对研究半导体材料性能具有重要意义。
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关 键 词: | 少子寿命 测试系统 虚拟仪器技术 半导体材料 载流子浓度 在线检测 虚拟仪器系统 光电导 微波反射 虚拟示波器 |
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