| 基于喇曼-奈斯衍射的MOEMS加速度计的设计与工艺实验 |
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| 引用本文： | 张祖伟,温志渝,尚正国,李东玲,胡晶. 基于喇曼-奈斯衍射的MOEMS加速度计的设计与工艺实验[J]. 半导体学报, 2012, 33(9): 094009-7 |
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| 作者姓名： | 张祖伟 温志渝 尚正国 李东玲 胡晶 |
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| 摘 要： | 本文主要设计了一种新型的基于喇曼奈斯声光衍射的微光机电加速度计。它主要由一个声光移频器与一系列光波导构成。文章首先对器件的基础理论与基本原理做了简要的介绍。然后设计了一种基于弯曲板波的延迟线振荡器做为声光移频器，其克莱因-考克参数为0.38。设计了厚度2微米，宽度0.6微米的单模光波导用于光的传输，同时还设计了波导偏振器以保证波导内的光具有相同的偏振方向。接着，基于前文的设计，文中提出了基于硅工艺的器件加工方案与流程，并详细讨论了加工流程中存在的难点与问题。最后针对提出的难点与问题进行了一系列的工艺实验，找到了解决难点和问题并复合设计要求的工艺条件与参数，实验结果表面本文提出的器件的设计与加工是可靠可行的。
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| 关 键 词： | 加速度计 设计 工艺试验 微光机电 拉曼 衍射 微型光机电系统 基础 |
| 修稿时间： | 2012-02-11 |
Design and process test of a novel MOEMS accelerometer based on Raman-Nath diffraction |
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| Zhang Zuwei,Wen Zhiyu,Shang Zhengguo,Li Dongling and Hu Jing. Design and process test of a novel MOEMS accelerometer based on Raman-Nath diffraction[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2012, 33(9): 094009-7 |
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| Authors: | Zhang Zuwei Wen Zhiyu Shang Zhengguo Li Dongling Hu Jing |
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| Affiliation: | Key Laboratory of Fundamental Science on Micro/Nano-Device and System Technology, Chongqing University,Chongqing 400030, China;National Center for International Research of Micro/Nano-System and New Material Technology, Chongqing University,Chongqing 400030, China;Microsystem Research Center of Chongqing University, Chongqing 400030, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | accelerometer MOEMS Raman-Nath diffraction design process test |
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