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| 联碳工业气体公司开始生产砷烷和磷烷 | |
| 摘 要： | 联碳工业气体公司林德分部于1990年10月在其新设的1600万美元的电子气体中心(位于亚利桑那州金曼以南)开始生产砷烷,预定11月份开始生产磷烷。砷烷和磷烷是化合物半导体和硅半导体制造所需的两种关键性气体。该特种工艺气体生产设施完工时,还将配制和包装全部超高纯气体。其中,某些产品将销往美国以外。新设施所用 |
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