Ti（C,N）薄膜的复合硬度与本征硬度的研究

本文对不同性质的膜－基体系通过确定Ｃ的具体取值对Ｊｏｅｎｓｓｏｎ－Ｈｏｇｍａｒｋ模型予以修正，研究了等离子体增强化学气相沉积Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）薄膜的硬度及其随成分组织的变化，Ｔｉ（ｃ，Ｎ）薄膜具有较小的晶粒尺寸和较高的残余压应力，其硬度远高于一般的整体材料，在确定的工艺条件下，其值主要取决于膜的含碳量，大体成线性增加关系。