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多晶硅尾气吸收影响因素研究
引用本文:明勇,陈静.多晶硅尾气吸收影响因素研究[J].河南化工,2021,38(10):16-19.
作者姓名:明勇  陈静
作者单位:四川永祥新能源有限公司 , 四川 乐山 614802;华陆工程科技有限责任公司 , 陕西 西安 710076
摘    要:多晶硅尾气吸收单元主要分离还原尾气中的HCl和氯硅烷,降低尾气中HCl和氯硅烷含量,减小下游活性炭吸附的负荷.运用流程模型软件Aspen Plus对吸收过程进行模拟,对尾气吸收单元的喷淋吸收剂量、吸收剂组分、吸收剂温度、吸收塔压力和吸收塔的进气温度等各种影响因素进行模拟和灵敏度分析,得出尾气吸收的有利条件为温度-70~-65℃,压力1.0~1.2 MPa;适度增加吸收剂用量,改善吸收剂组分也有利于提高吸收效果.

关 键 词:Aspen  Plus  多晶硅  尾气吸收  影响因素

Study on Influencing Factors of Polysilicon Exhaust Gas Absorption
MING Yong,CHEN Jing.Study on Influencing Factors of Polysilicon Exhaust Gas Absorption[J].Henan Chemical Industry,2021,38(10):16-19.
Authors:MING Yong  CHEN Jing
Abstract:
Keywords:
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