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双频激光干涉仪的原理与应用(四)
作者姓名:羡一民
作者单位:机械部成都工具研究所
摘    要:双频激光干涉仪的原理与应用(四)机械部成都工具研究所(610056)羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能,无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器,可以直接安装...

关 键 词:干涉仪 双频激光干涉仪
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