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Mn0.1Ti0.9O2-δ稀磁半导体薄膜的MBE生长及表征
引用本文:夏延秋,吴曙翔,刘雅晶,于晓龙,李树玮. Mn0.1Ti0.9O2-δ稀磁半导体薄膜的MBE生长及表征[J]. 半导体学报, 2007, 28(7)
作者姓名:夏延秋  吴曙翔  刘雅晶  于晓龙  李树玮
基金项目:国家自然科学基金 , 广东省广州市科技计划
摘    要:采用OPA-MBE方法在SrTiO3(STO)衬底上成功制备了Mn0.1Ti0.9O2-δ(MTO)稀磁半导体薄膜.利用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、紫外可见光分度计以及直流四探针测试仪研究了薄膜的晶体结构、化学组成、光吸收和电荷输运性质.MTO薄膜具有锐钛矿和金红石的混合相,光吸收带边界发生"红移",电荷输运性质明显提高,室温环境下电阻率仅为37.5Ω·m.

关 键 词:Mn0.1Ti0.9O2-δ薄膜  稀磁半导体  OPA-MBE  X射线光电子能谱  稀磁半导体  薄膜  生长  表征  Diluted Magnetic Semiconductor  Characterization  Molecular Beam Epitaxy  Film  电阻率  室温环境  红移  发生  边界  吸收带  混合相  金红石  锐钛矿  电荷输运性质  光吸收  化学组成

Characterization of Diluted Magnetic Semiconductor Mn0.1Ti0.9O2-δ Thin Film Grown by Molecular Beam Epitaxy
Xia Yanqiu,Wu Shuxiang,Liu Yajing,Yu Xiaolong,Li Shuwei. Characterization of Diluted Magnetic Semiconductor Mn0.1Ti0.9O2-δ Thin Film Grown by Molecular Beam Epitaxy[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2007, 28(7)
Authors:Xia Yanqiu  Wu Shuxiang  Liu Yajing  Yu Xiaolong  Li Shuwei
Abstract:
Keywords:
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