| 微机械电子系统中的摩擦磨损及研究方向 |
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| 引用本文： | 李晓颖,韩彦彬.微机械电子系统中的摩擦磨损及研究方向[J].现代机械,2006(3):82-83. |
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| 作者姓名： | 李晓颖 韩彦彬 |
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| 作者单位： | 1. 河北理工大学,计控学院,河北,唐山,063009
2. 空军工程大学,工程学院,陕西,西安,710038 |
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| 摘 要： | 介绍了微机械电子系统的概念,分析了微机电系统的摩擦磨损机理。结合近年来研究成果,根据微机电与传统机械摩擦磨损的不同,总结出了微机械电子系统摩擦磨损设计中的研究方向。
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| 关 键 词： | 微机械电子系统 微机电系统摩擦 摩擦磨损研究方向 |
| 文章编号： | 1002-6886（2006）03-0082-02 |
| 收稿时间： | 2005-12-08 |
| 修稿时间： | 2005年12月8日 |
Friction,Erosion and Research Direction in MEMS |
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| LI Xiao-ying,HAN Yan-bin.Friction,Erosion and Research Direction in MEMS[J].Modern Machinery,2006(3):82-83. |
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| Authors: | LI Xiao-ying HAN Yan-bin |
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| Abstract: | the concent of micro electro - mechanical system was introduced, aria then the friction mechanical theory of micro electro - mechanical system also was analysed in the paper, at the basis of the different aspect of MEMS firciton and traditional friction, the recent latest research achievement was adonted. Finlly, the friction research direction in MEMS was summed up fully. |
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| Keywords: | micro electro-mechanical system micro friction in MEMS research direction of friction and erosion |
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