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| 一种扫描电镜下纳米操纵台的设计 | |
| 引用本文： | 闫允杰,张友生,彭奎庆,朱静. 一种扫描电镜下纳米操纵台的设计[J]. 电子显微学报, 2004, 23(4): 484-484 |
| 作者姓名： | 闫允杰 张友生 彭奎庆 朱静 |
| 作者单位： | 清华大学电子显微镜实验室,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (No .90 2 0 60 46) |
| 摘 要： | 本研究组设计了一种在场发射扫描电镜下进行纳米操控的装置——纳米操纵台(图1)。利用该纳米操纵台可实现原位下对纳米点、线和膜材料空间三维上的操作与观察。 |
| 关 键 词： | 扫描电子显微镜 纳米操纵台 结构设计 电路设计 机械设计 |
Design of nano-manipulator in a scanning electron microscope |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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