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| 蓝宝石上硅膜（SOS）肖特基结注入电流检测的电子自旋共振及Si／A… | |
| 引用本文： | 傅济时,朱美栋.蓝宝石上硅膜（SOS）肖特基结注入电流检测的电子自旋共振及Si／A…[J].半导体学报,1993,14(11):712-714. |
| 作者姓名： | 傅济时 朱美栋 |
| 摘 要： | 我们用高灵敏的肖特基结注入电流检测磁共振方法对蓝宝石上外延硅膜进行了研究。实验观察到一种向同性非结称的磁共振谱，经拟合它由线宽１０＾－＾３Ｔ，ｇ值分别为２．００５５及２．０１２的二线组合而成，二线强度比３．７：１。前是硅悬挂键，后为非晶硅价态态共振。实验证该磁共振信号来自于Ｓｉ／Ａｌ２Ｏ３界面。 |
| 关 键 词： | 蓝宝石 硅膜 界面 缺陷 检测 共振 |
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