清除空气中海盐粒子的装置

日本清水建设公司最近研制成功了一种可清除空气中海盐粒子的新装置,适用于沿海地区的清洁室。过去,半导体工厂等的清洁室大多建在高地和山谷地带,主要原因之一就是沿海地带的空气中含有大量海盐的微粒子。它的主要成分为钠和氯。粒子的直径约为1～10μm。