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锐钛矿型二氧化钛薄膜制备及其光催化性能研究
引用本文:赵琳,邱家稳,何延春,王洁冰,许旻,赵印中.锐钛矿型二氧化钛薄膜制备及其光催化性能研究[J].真空与低温,2005,11(2):78-82.
作者姓名:赵琳  邱家稳  何延春  王洁冰  许旻  赵印中
作者单位:兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000
摘    要:在室温下采用直流磁控反应溅射法制备纳米TiO2薄膜,用XRD、XPS等手段对未退火及不同退火温度处理的薄膜进行了研究,以紫外灯为光源对亚甲基兰进行了光催化降解试验.结果表明:室温制备未退火的薄膜为非晶结构,400~500℃退火的薄膜为锐钛矿相结构.制备的锐钛矿型TiO2薄膜具有一定的光催化性能,在500℃退火2 h且厚度较大的薄膜光催化性能较好.

关 键 词:磁控溅射  薄膜  退火  光催化
文章编号:1006-7086(2005)02-0078-05
修稿时间:2005年1月17日

PREPARATION AND PHOTOCATALYTIC ACTIVITY STUDIES OF ANATASE-PHASED TiO2 THIN FILMS
ZHAO Lin,QIU Jia-wen,HE Yan-chun,WANG Jie-bing,XU Min,ZHAO Yin-zhong.PREPARATION AND PHOTOCATALYTIC ACTIVITY STUDIES OF ANATASE-PHASED TiO2 THIN FILMS[J].Vacuum and Cryogenics,2005,11(2):78-82.
Authors:ZHAO Lin  QIU Jia-wen  HE Yan-chun  WANG Jie-bing  XU Min  ZHAO Yin-zhong
Abstract:
Keywords:TiO2
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