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电镀半导体的方法和仪器
摘 要:
电镀一种复杂半导体装置的方法包括:对阳极和阴极提供一个电源;将复杂半导体装置放在电镀溶液中的非导电部位;在需电镀的半导体元件表面来回移动导体元件,导电元件电连接在半导体元件表面的阴极;与阳极相连的电镀微粒移动,并沉积在半导体元件表面。
关 键 词:
半导体装置
电镀溶液
半导体元件
仪器
非导电
表面
电连接
电元件
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