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| 锆铝吸气剂泵质谱研究 | |
| 作者姓名： | 曹成喜 董镛 赵世勋 王向远 |
| 作者单位： | 沈阳真空技术研究所，沈阳真空技术研究所，沈阳真空技术研究所，沈阳真空技术研究所 |
| 摘 要： | 在以金属锆铝吸气剂泵为主泵,钛溅射离子泵为前级的真空系统中,用LP-4001型四极质谱计分析了锆铝吸气剂泵在不同工作条件下的吸气特性及泵内的气体成份,并分析了锆铝吸气剂泵在激活过程中的气体释放特性。一、试验装置试验装置如图1所示。本试验装置使用的锆铝吸气剂泵对H_2的名义抽速为1500升/秒,吸气 |
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