| 含氦纳米晶钛膜的PBS和XRD研究 |
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| 引用本文： | 庞洪超,罗顺忠,龙兴贵,安竹,刘宁,段艳敏,吴兴春,彭述明,杨本福,王培禄,宋应民,郑思孝.含氦纳米晶钛膜的PBS和XRD研究[J].核技术,2008,31(1):58-62. |
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| 作者姓名： | 庞洪超 罗顺忠 龙兴贵 安竹 刘宁 段艳敏 吴兴春 彭述明 杨本福 王培禄 宋应民 郑思孝 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064
2. 中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,321900 |
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| 基金项目： | 中国物理研究院科研项目 |
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| 摘 要： | 为研究不同晶粒尺寸纳米钛膜的储氦行为,在He-Ar混合气体下,用磁控溅射方法沉积纳米晶钛膜,利用PBS(proton backscattering)、XRD(X-ray diffraction)对膜的氦含量和微观结构及晶粒大小进行了研究.结果表明:在其它实验参数不变的情况下,当沉积温度从60℃升至350℃时得到均匀分布的含氦量(指原子百分比)从38.6%逐渐降至9.2%的钛膜,其平均晶粒由13.1 nm增加到44.2 nm;当He/Ar分压比分别为6、10、15、19时得到均匀分布的含氦量分别为17.6%、47.2%、48.3%和38.6%的钛膜.He的引入引起(002)晶面衍射峰向小角度移动,但(100)晶面衍射峰不变,即晶胞参数c增加,a不变化;随膜中He含量的增加,衍射峰展宽,晶粒变小,显示出氦的掺入有抑制纳米晶粒长大的趋势.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 纳米晶钛膜 晶粒大小 氦含量 |
| 收稿时间： | 2006-12-01 |
| 修稿时间： | 2007-06-06 |
PBS and XRD study on helium-charged nanocrystalline titanium film |
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| PANG Hongchao,LUO Shunzhong,LONG Xinggui,AN Zhu,LIU Ning,DUAN Yanmin,WU Xingchun,PENG Shuming,YANG Benfu,WANG Peilu,SONG Yingmin,ZHENG Sixiao.PBS and XRD study on helium-charged nanocrystalline titanium film[J].Nuclear Techniques,2008,31(1):58-62. |
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| Authors: | PANG Hongchao LUO Shunzhong LONG Xinggui AN Zhu LIU Ning DUAN Yanmin WU Xingchun PENG Shuming YANG Benfu WANG Peilu SONG Yingmin ZHENG Sixiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Magnetron sputtering Nanocrystalline titanium film Grain size Helium content |
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