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| 计算机辅助纳米级圆度测量技术 | |
| 作者姓名： | 顾启泰 刘学斌 |
| 作者单位： | 清华大学(顾启泰，刘学斌，叶京生)，清华大学(雷田玉) |
| 摘 要： | 本文讨论多步法误差分离技术的方法误差和系统误差。按此法由Talyrond3型圆度仪、精密分度转台和IBM-PC 微机组成计算机辅助纳米级圆度测量系统,将圆度仪的测量精度由原来0.025μm 提高到0.002μm。该项技术的推广应用对我国现有圆度仪的技术改造具有重要意义。 |
| 关 键 词： | 计算机 纳米级 圆度仪 |
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