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| Ti的激光化学汽相淀积 | |
| 引用本文： | 胡先贞.Ti的激光化学汽相淀积[J].真空电子技术,1990(2). |
| 作者姓名： | 胡先贞 |
| 摘 要： | 用1.4kW_cwTEM_ooCO_2激光分解TiBr_4,使Ti淀积在不锈钢基体上。对膜的厚度和淀积速率作为TiBr_4的分蒸气压、辐射时间和室温的函数进行了研究。得到比用化学汽相淀积制作的纯Ti膜大两个数量级的淀积速率(190μm/h)。另外,用俄歇电子谱、扫描电 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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