精密加工和超精密加工的几种方法

图1表示了二十世纪以来,一般加工、精密加工和超精密加工的发展趋势。可见当今的超精密加工是指被加工零件的尺寸公差为0.01μm数量级,表面粗糙度为Rz0.01μm数量级的加工,加工中所使用的设备,其分辨率和重复精度应为0.01μm数量级,当然测量仪器应高一个数量级,达到0.001μm。