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各种实用真空工程材料的出气率测试

作者姓名：	辜学茂程珊华李成富

作者单位：	中国科学院合肥等离子体物理所，中国科学院合肥等离子体物理所，中国科学院合肥等离子体物理所

摘要：	本文简要叙述小孔流量法测量材料出气率实验原理和实验装置。给出了无氧铜、不锈钢和低碳钢等十多种材料的常温出气率实验结果,探讨了各种加工工艺和清洗工艺对材料出气率的影响。
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