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基于ZEMAX的半导体激光器非球面准直透镜设计
作者姓名:杜彬彬  高文宏  李江澜  石云波  徐美芳  赵鹏飞  王艳红
作者单位:中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西 太原 030051
基金项目:国家自然科学基金(No.61078036);山西省重大专项(No.20111101045)资助
摘    要:为了解决半导体激光器出射光束发散角大的问题,根据几何光学原理,分别针对半导体激光器弧矢和子午方向的不同发散角度建立数学模型,设计出了在两个相互垂直的方向上具有不同非球面面型的非球面透镜,并在ZEMAX光学设计软件中进行了仿真。经非球面准直透镜准直之后,半导体激光器快慢轴方向的发散角分别从35°和7.5°压缩到了1.8 mrad和0.84 mrad,在距离光源10 m处接收面上的总光功率为0.497 W,光能利用率高达99.4%。结果表明,在相互垂直的方向上具有不同面型的非球面准直透镜对半导体激光器的准直具有良好的效果。

关 键 词:半导体激光器  非球面透镜  ZEMAX  准直
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