激光切割石英摆片的若干问题研究

由于具有独特而优良的特性,石英晶体作为一种能量转换材料在传感器等领域中得到了十分广泛的应用。同时,也由于石英晶体具有高可靠性,使得它在航空、航天及军事应用领域一直占有很重要的位置。然而,近年来随着民用/军用市场的逐步开放,国内外对石英器件的需求不断增大,石英器件的典型零件棗石英摆片的成形工艺已远远不能满足市场需求。因此,研究石英摆片加工的新工艺、新方法、新理论,提高石英摆片生产的成品率和产品质量以及生产效率,对开拓石英产品市场,提高企业效益,有着十分重要的意义。研究石英摆片激光切割新技术,是解决目前石英摆片成形工艺中存在问题的一条新路。但是激光能否高质量地切割脆而硬的熔融石英,以及如何高质量地切割是采用激光切割石英摆片首先要解决的问题。同时也是一个普遍性的问题。本文对激光切割石英摆片若干理论问题进行了研究,并在此基础上,详细分析了影响激光切割质量的基本规律。

Study on A Few Problems in Laser Cutting Quartz pendulous Reed