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| 显微干涉技术在MEMS动态测试系统中的应用 | |
| 作者姓名： | 郭彤 胡晓东 栗大超 胡春光 胡小唐 |
| 摘 要： | 系统采用了显微干涉技术,利用Mirau显微干涉仪配合频闪照明系统实现了对MEMS器件动态特性的测量,测量过程采用了光学干涉的非接触方法,因此不会对器件产生损坏.系统采用了改进的相移算法,抑制了相移器误差以及探测器带来的非线性误差,提高了测量精度.利用本系统测量了微结构上多点处的振幅,得到了被测结构的谐振频率. |
| 关 键 词： | 微机电系统 显微干涉 动态测试 频闪照明 |
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