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金属-介质多层膜超衍射材料频谱滤波特性
引用本文:杜文娟,王长涛,赵泽宇,姚纳,罗先刚. 金属-介质多层膜超衍射材料频谱滤波特性[J]. 光电工程, 2014, 0(11)
作者姓名:杜文娟  王长涛  赵泽宇  姚纳  罗先刚
作者单位:中国科学院光电技术研究所 微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209
基金项目:国家自然科学基金资助项目
摘    要:本文理论研究了金属-介质多层膜光学超衍射材料频谱滤波的物理机制。严格矢量分析光波在金属-介质多层膜中频谱耦合传输的带通行为规律,理论分析单元厚度、填充比、膜层材料虚部和Al/Mg F2多层膜对数对空间频谱的带通窗口和透射振幅的影响因素。研究表明单元厚度和填充比主要影响空间频谱的带通窗口,膜层材料虚部和膜层对数主要影响空间频谱的透射振幅。该研究结果有望应用于超分辨成像光刻、表面等离子体结构照明、表层显微和生物传感等领域。

关 键 词:表面等离子体  倏逝波  多层膜

Characteristic Investigation of Spatial Spectrums Filtering in Metal-dielectric Multilayer Metamaterials
DU Wenjuan,WANG Changtao,ZHAO Zeyu,YAO Na,LUO Xiangang. Characteristic Investigation of Spatial Spectrums Filtering in Metal-dielectric Multilayer Metamaterials[J]. Opto-Electronic Engineering, 2014, 0(11)
Authors:DU Wenjuan  WANG Changtao  ZHAO Zeyu  YAO Na  LUO Xiangang
Abstract:
Keywords:surface plasmons  enanescent waves  multilayer
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