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| 电致伸缩微位移装置的高精度控制方法研究 | |
| 引用本文： | 王立松,苏宝库,董申. 电致伸缩微位移装置的高精度控制方法研究[J]. 中国机械工程, 2002, 13(3): 201-203 |
| 作者姓名： | 王立松 苏宝库 董申 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,哈尔滨市,150001,控制工程系 2. 哈尔滨工业大学控制工程系 3. 哈尔滨工业大学精密工程研究所 |
| 摘 要： | 针对电致伸缩微位移高精度控制的需求，研究了基于非线性迟滞模型的前馈补偿与反馈技术相结合的控制方法，对电致伸缩微位移装置进行控制，取得良好的控制效果。将其应用于柔性工作台控制系统中，系统在跟踪正弦曲线时，跟踪误差小于5nm。 |
| 关 键 词： | 电致伸缩微位移装置 线性化 迟滞 前馈 反馈控制 控制方法 |
| 文章编号： | 1004-132X(2002)03-0201-03 |
The Research of High Precision Control Methods for Piezoceramic Actuators |
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| WANG Lisong. The Research of High Precision Control Methods for Piezoceramic Actuators[J]. China Mechanical Engineering, 2002, 13(3): 201-203 | |
| Authors: | WANG Lisong |
| Abstract: | According to the request of high precision control for piezoceramic actuator, a control method which combined the feed-forward compensator and feedback controller based on hysteresis nonlinearity of a piezoceramic actuator was studied .When it was applied to the control system of a flexible table to trace a sinusoidal input signal, the motion error of less than 5nm was measured. |
| Keywords: | piezoceramic actuator linearity hysteresis feedforward |
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