| 基于微梁谐振原理的相对湿度检测技术 |
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| 引用本文： | 李艳宁,李树民,郭彤,房轩,傅星,胡小唐. 基于微梁谐振原理的相对湿度检测技术[J]. 纳米技术与精密工程, 2007, 5(2): 85-88 |
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| 作者姓名： | 李艳宁 李树民 郭彤 房轩 傅星 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于微梁谐振原理的相对湿度检测方法．建立了微梁谐振频率与环境相对湿度的函数关系，通过检测谐振频率可以测量环境相对湿度．利用压电微梁直接激励法进行实验，得出了30％～80％湿度范围内微梁谐振频率与相对湿度的关系曲线．经实验验证，基于谐振原理的微梁湿度传感器有良好的精度和重复性，分辨率可达0．2％RH，精度优于±2．0％RH．微梁湿度传感器体积小、响应快、精度高，在微机电系统和微全分析系统中有广泛的应用前景，
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| 关 键 词： | 微梁 谐振频率 相对湿度 微机电系统 |
| 文章编号： | 1672-6030（2007）02-0085-04 |
Relative Humidity Measurement Technology Based on Microcantilever Resonance |
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| LI Yan-ning,LI Shu-min,GUO Tong,FANG Xuan,FU Xing,HU Xiao-tang. Relative Humidity Measurement Technology Based on Microcantilever Resonance[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2007, 5(2): 85-88 |
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| Authors: | LI Yan-ning LI Shu-min GUO Tong FANG Xuan FU Xing HU Xiao-tang |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments, Tianjin University, Tianjin 300072, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microcantilever resonant frequency relative humidity micro electromechanical system |
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