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气体吸附对ZnO薄膜表面电导的影响

作者姓名：	张鹰

作者单位：	成都电讯工程学院

摘要：	利用在氧化气氛中,ZnO薄膜的表面电导对还原气体分压具有敏感性这一特性,可望制作ZnO薄膜气体传感器。分析表明只在较高温度下,才具有实用的灵敏度及响应速度。
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