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| MEMS和导航级MEMS惯性传感器 | |
| 作者姓名： | 王忆锋 |
| 作者单位： | 昆明物理研究所 |
| 摘 要： | 介绍了MEMS技术的原理及其设计与制造技术,重点介绍了导航级MEMS惯性传感器的发展和应用现状,最后阐明自主研发是我国导航级MEMS惯性传感器发展的唯一道路。 |
| 关 键 词： | MEMS 加速度计 陀螺 惯性传感器 惯性测量装置 惯性导航系统 |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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