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沉积温度和碳纳米管对CVD SiC涂层微观形貌的影响
引用本文:张翔,李军,廖寄乔,谭周建. 沉积温度和碳纳米管对CVD SiC涂层微观形貌的影响[J]. 粉末冶金材料科学与工程, 2010, 15(5)
作者姓名:张翔  李军  廖寄乔  谭周建
作者单位:中南大学粉末冶金国家重点实验室;
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目,国家自然科学基金委员会创新研究群体科学基金
摘    要:以三氯甲基硅烷(CH3SiCl3)为前驱体,采用化学气相沉积法(Chemical vapor deposition,CVD),在原位生长有碳纳米管(Carbon nanotubes,CNTs)的C/C复合材料表面制备SiC涂层。用扫描电镜(SEM)和X射线能谱仪(EDS)观察和分析涂层微观形貌及成份。研究沉积温度(1 000~1 150℃)对SiC涂层的表面、截面以及SiC颗粒的微观形貌的影响。结果表明:在1 000℃下反应时,得到晶须状SiC;沉积温度为1 050℃时涂层平整、致密;沉积温度提高到1 100℃时,涂层粗糙,致密度下降;1 150℃下形成类似岛状组织,SiC颗粒团聚长大,涂层粗糙,并有很多裂纹和孔洞,致密度低。对涂层成份和断口形貌研究表明,基体和涂层之间有1个过渡区,SiC涂层和基体之间结合良好。

关 键 词:炭/炭复合材料  CNT-SiC复合涂层  碳纳米管  CVD

Effects of deposition temperature and carbon nanotubes on microstructure of SiC coating by CVD
ZHANG Xiang,LI Jun,LIAO Ji-qiao,TAN Zhou-jian. Effects of deposition temperature and carbon nanotubes on microstructure of SiC coating by CVD[J]. materials science and engineering of powder metallurgy, 2010, 15(5)
Authors:ZHANG Xiang  LI Jun  LIAO Ji-qiao  TAN Zhou-jian
Affiliation:ZHANG Xiang,LI Jun,LIAO Ji-qiao,TAN Zhou-jian(State Key Laboratory of Powder Metallurgy,Central South University,Changsha 410083,china)
Abstract:
Keywords:carbon/carbon composites  CNT-SiC composite coating  carbon nanotubes  CVD  
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