| 快速响应SOI马赫曾德热光调制器 |
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| 引用本文： | 魏红振,余金中,夏金松,严清峰,刘忠立,房昌水. 快速响应SOI马赫曾德热光调制器[J]. 半导体学报, 2002, 23(5): 509-512. DOI: 10.3969/j.issn.1674-4926.2002.05.013 |
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| 作者姓名： | 魏红振 余金中 夏金松 严清峰 刘忠立 房昌水 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;2. 山东大学人工晶体研究所,济南,250100 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;69896260,69990540; |
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| 摘 要： | 给出了Y分支MZI热光调制器的模型,实验研制了基于SOI(silicon-on-insulator)的MZI热光调制器,调制器的消光比为-16.5dB,开关的上升时间为10μs,下降时间为20μs,相应的功耗为0.39W.
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| 关 键 词： | 集成光学 调制器 SOI 热光开关 |
| 文章编号： | 0253-4177(2002)05-0509-04 |
| 修稿时间： | 2001-09-12 |
Mach-Zehnder Interferometer Thermo-Optical Modulator with Fast Response |
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| Wei Hongzhen ,Yu Jinzhong ,Xia Jinsong ,Yan Qingfeng ,Liu Zhongli and Fang Changshui. Mach-Zehnder Interferometer Thermo-Optical Modulator with Fast Response[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2002, 23(5): 509-512. DOI: 10.3969/j.issn.1674-4926.2002.05.013 |
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| Authors: | Wei Hongzhen Yu Jinzhong Xia Jinsong Yan Qingfeng Liu Zhongli Fang Changshui |
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| Affiliation: | Wei Hongzhen 1,Yu Jinzhong 1,Xia Jinsong 1,Yan Qingfeng 1,Liu Zhongli 1 and Fang Changshui 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | integrated optics modulator SOI ther mo-optical switch |
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