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低温等离子体物理化学基础及其应用(七)
引用本文:裴晋昌. 低温等离子体物理化学基础及其应用(七)[J]. 印染, 2005, 31(17): 41-45
作者姓名:裴晋昌
作者单位:上海市纺织科学研究院,上海,200082
摘    要:5等离子体的诊断方法[42]应用低温等离子体作为一种技术手段,必须对其进行诊断,即了解各类活性粒子的浓度和能量水平。一般采用吸收光谱法,可以测出等离子体中的分子或原子密度,或者用红外二极管激光吸收光谱(IRLAS)方法测出等离子体中的自由基(如CH3·)密度。通常比较简单的方法是用电子探针方法进行诊断。笔者主要列举以辉光放电方式产生的等离子体,采用电子探针方法进行诊断和计算。有关探针诊断中的污染问题,可参见T L Thom as等人的有关著作。介质阻挡放电(DBD)等离子体的诊断,可参见徐学基等人的文章[7]。5.1单探针诊断法在所要…

关 键 词:染整 等离子体 低温 物理化学 应用
文章编号:1000-4017(2005)17-0041-05

Physicochemical properties of plasma and its application(Ⅵ)
PEI Jin- chang. Physicochemical properties of plasma and its application(Ⅵ)[J]. Dyeing and Finishing, 2005, 31(17): 41-45
Authors:PEI Jin- chang
Abstract:
Keywords:
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