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| 单晶硅材料补偿度的确定 | |
| 作者姓名： | 程元生 |
| 作者单位： | 江苏省常熟市半导体器件厂 |
| 摘 要： | 本文叙述了ｐ型及ｎ型硅材料杂质补偿度确定的各种方法，并评述了各种方法的实验条件及其优缺点，还指出了目前我国各单位采取的简单而较可靠的方法。 |
| 关 键 词： | 单晶硅补偿度 单晶硅 半导体材料 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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