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| 热丝CVD法分解丙酮合成金刚石薄膜 | |
| 引用本文： | 项金钟,郑志豪.热丝CVD法分解丙酮合成金刚石薄膜[J].薄膜科学与技术,1991,4(4):40-45. |
| 作者姓名： | 项金钟 郑志豪 |
| 作者单位： | [1]华东师范大学物理系 [2]中科院上海冶金所离子束开放实验 |
| 摘 要： | 本文采用热丝CVD方法，在丙酮和氢气系统下，用Si和Mo片作衬底进行了合成金刚石薄膜的研究。Raman谱、X射线衍射以及扫描电镜的分析结果表明，制备的金刚石薄膜是多晶金刚石薄膜，当丙酮量为1.1%时，晶粒尺寸约为1-1.7微米。生长速率约为0.4um/h，并讨论了金刚石薄膜质量与实验条件的关系。 |
| 关 键 词： | 热丝化学气相沉积 丙酮 金刚石薄膜 |
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