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溅射沉积Ti膜与Si3N4陶瓷的界面研究

引用本文：	王亦曼,白丽芳.溅射沉积Ti膜与Si3N4陶瓷的界面研究[J].薄膜科学与技术,1991,4(2):37-46.

作者姓名：	王亦曼白丽芳

摘要：
关键词：	溅射沉积 Ti膜 Si3N4 陶瓷界面
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