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真空工艺用低温设备和部件
引用本文:西田启一,韩鸿兴,韩美.真空工艺用低温设备和部件[J].低温与特气,1983(2):15-23.
作者姓名:西田启一  韩鸿兴  韩美
作者单位:[1]不详 [2]光明所 [3]上海机械学院
摘    要:一、前言过去用在真空方面的低温设备只限于使用液氮(77.3K)冷阱和吸附泵等。可是,近年来,极低温制冷机已工业化生产,使用低温机械的低温泵市场上也有出售。并且液氢(20.4K)和液氦(4.2K)目前已经能够方便地得到,真空技术和低温技术之间的相互联系越来越密切。在这种情况下,真空技术人员充分地理解低温技术是很重要的。

关 键 词:绝热  真空工艺  低温设备  氦液化器  制冷机  低温泵
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