真空工艺用低温设备和部件 |
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引用本文: | 西田启一,韩鸿兴,韩美.真空工艺用低温设备和部件[J].低温与特气,1983(2):15-23. |
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作者姓名: | 西田启一 韩鸿兴 韩美 |
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作者单位: | [1]不详 [2]光明所 [3]上海机械学院 |
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摘 要: | 一、前言过去用在真空方面的低温设备只限于使用液氮(77.3K)冷阱和吸附泵等。可是,近年来,极低温制冷机已工业化生产,使用低温机械的低温泵市场上也有出售。并且液氢(20.4K)和液氦(4.2K)目前已经能够方便地得到,真空技术和低温技术之间的相互联系越来越密切。在这种情况下,真空技术人员充分地理解低温技术是很重要的。
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关 键 词: | 绝热 真空工艺 低温设备 氦液化器 制冷机 低温泵 |
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