气相外延单板机直接数字控制系统

本文论述了气相外延炉单板机直接数字控制系统的组成和性能,对象数学模型的建立和两种数字控制器的设计方法,以及本系统的控制软件和操作过程。该系统已在生产线上运行,情况良好。