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| 氮气含量对射频磁控溅射法制备的 AlN 薄膜微观结构与力学性能的影响简 | |
| 引用本文： | 余志明,刘丹瑛,魏秋平,张雄伟,龙 芬,罗嘉祺,王一佳.氮气含量对射频磁控溅射法制备的 AlN 薄膜微观结构与力学性能的影响简[J].粉末冶金材料科学与工程,2014(1):101-107. |
| 作者姓名： | 余志明 刘丹瑛 魏秋平 张雄伟 龙 芬 罗嘉祺 王一佳 |
| 摘 要： | |
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