| 基于CMOS的新型人工表面等离激元滤波器设计 |
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| 引用本文： | 吴杰民,陆恺,汪江鹏,高昊,段宗明,崔铁军,鲍迪.基于CMOS的新型人工表面等离激元滤波器设计[J].电子学报,2023(10):2708-2714. |
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| 作者姓名： | 吴杰民 陆恺 汪江鹏 高昊 段宗明 崔铁军 鲍迪 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学电磁空间研究院;2. 东南大学毫米波国家重点实验室;4. 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（No.62288101）；;国家重点研发计划项目（No.2017YFA0700201,No.2017YFA0700202,No.2017YFA0700203）；;高等学校学科创新引智计划项目（No.111-2-05）； |
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| 摘 要： | 本文基于0.18μm CMOS工艺提出了一种新型微波人工表面等离激元(Spoof Surface Plasmon Polariton,SSPP)耦合式滤波器结构并进行加工和测量，同时设计了一种太赫兹SSPP四边形滤波器并进行了全波仿真.新型微波SSPP耦合式滤波器通带为11～12.3 GHz(S11<-10 d B,S21>-3.5 d B)，结构紧凑，电尺寸仅为0.018 4λg×0.008 4λg，远小于其他基于集成电路工艺设计的无源滤波器.通过优化与调整，可以将新型微波SSPP耦合式滤波器的性能进一步优化到要求范围内.太赫兹SSPP四边形滤波器通带为210.8～241.3 GHz(S11<-10 d B,S21>-4.7 d B)，带内插入损耗仅为2.7 d B，带外抑制良好.两种SSPP滤波器均采用非接触式电磁耦合的新型能量传递方式，结构设计新颖，并且微波段SSPP耦合式滤波器小型化优势明显，电尺寸仅为0.019λ...
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| 关 键 词： | 人工表面等离激元 太赫兹 耦合结构 滤波器 小型化 CMOS |
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