| 基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究 |
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| 引用本文： | 赵翔,梁明富.基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究[J].南京工业职业技术学院学报,2008,8(4):12-14. |
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| 作者姓名： | 赵翔 梁明富 |
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| 作者单位： | 扬州市职业大学,机械工程学院,江苏,扬州,225009;扬州市职业大学,机械工程学院,江苏,扬州,225009 |
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| 摘 要： | 在MEMS常见加工工艺的基础上，提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线。探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂和氮化硅和硅基底之间的粘连问题。
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| 关 键 词： | MEMS 微悬臂梁 牺牲层释放 磷硅玻璃 |
Research on Fabrication of Silicon Micro-cantilevers Based on MEMS Technology |
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| ZHAO Xiang,LIANG Ming-fu.Research on Fabrication of Silicon Micro-cantilevers Based on MEMS Technology[J].Journal of Nanjing Institute of Industry Technology,2008,8(4):12-14. |
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| Authors: | ZHAO Xiang LIANG Ming-fu |
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| Affiliation: | ZHAO Xiang,LIANG Ming-fu(Yangzhou Polytechnic College,Yangzhou 225009,China) |
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| Abstract: | Based on the techniques of MEMS,this paper discusses the fabrication techniques of single silicon micro-cantilevers.It also discusses the break between silicon nitride and adhesion between silicon nitride and silicon bottom. |
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| Keywords: | MEMS |
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