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氦质谱检漏仪灯丝脆断故障的研究与解决
引用本文:
何擎.氦质谱检漏仪灯丝脆断故障的研究与解决[J].真空电子技术,2017(4):55-57.
作者姓名:
何擎
作者单位:
1.甘肃省微波电子工程技术研究中心国营第七七八厂744000;
摘 要:
对氦质谱检漏仪灯丝进行研究,明确了灯丝脆断的原因,提供了一种灯丝自制方法,及核算方法和误差分析法,指出延长灯丝寿命的措施。
关 键 词:
检漏仪
灯丝
脆断
研究
解决
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