| 粉体及制备工艺对IGZO靶材致密度及形貌的影响北大核心CSCD |
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| 引用本文： | 周贤界,许积文,魏秋平,王继民,余志明.粉体及制备工艺对IGZO靶材致密度及形貌的影响北大核心CSCD[J].材料热处理学报,2017(7):16-22. |
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| 作者姓名： | 周贤界 许积文 魏秋平 王继民 余志明 |
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| 作者单位： | 1.中南大学材料科学与工程学院410083;2.桂林电子科技大学材料科学与工程学院541004;3.广东省科学院510070; |
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| 基金项目： | 广西信息材料重点实验室自由探索基金(1210908-204-Z；1110908-05-K) |
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| 摘 要： | 分别用化学共沉淀粉和单元氧化物混合粉为原料烧结制备In_2Ga_2ZnO_7(IGZO)靶材,对比研究了煅烧温度、烧结温度、烧结气氛、保温对靶材烧结致密度和微观结构的影响。结果表明,混合粉比共沉淀粉更容易促进烧结致密化,但通过选择合适的煅烧温度和烧结工艺,两种原料粉均可获得密度高于99.5%的IGZO靶材。靶材烧成前1100℃保温效果最好,最佳烧成温度区间为1400~1450℃。共沉淀粉优选煅烧温区为900~1050℃,烧结时对氧气气氛更敏感;混合粉优选煅烧温区为750~900℃,且在氧气气氛下烧结优于空气。此外,共沉淀粉烧结体晶粒均匀分布、晶界清晰,而混合粉的烧结体表面晶界模糊,呈"网格状"和"层状"形貌。
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| 关 键 词： | IGZO靶材 共沉淀 球磨混合 烧结工艺 致密化 |
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