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| 强介陶瓷低压扫描电子显微术 | |
| 引用本文： | 阮世池.强介陶瓷低压扫描电子显微术[J].电子显微学报,1998,17(5):591-592. |
| 作者姓名： | 阮世池 |
| 作者单位： | 电子科技大学材料分析中心,成都,610054 |
| 摘 要： | 扫描电镜，从分辨能力的观点看，适当高的加速电压有高的分辨能力。然而，提高加速电压，有如下不可忽视的缺点：（１）样品表面微细结构信息被削弱或被遮盖；（２）明显的边缘效应；（３）导热性差的材料，在受电子束照射时易造成损伤；（４）对导电性差的样品，引起荷电... |
| 关 键 词： | 扫描电镜 低加速电压 强介陶瓷 绝缘陶瓷 |
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