| 微机械电子学的现状 |
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| 引用本文： | 李栓庆.微机械电子学的现状[J].微纳电子技术,1992(1). |
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| 作者姓名： | 李栓庆 |
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| 作者单位： | 机电部第13研究所 石家庄 |
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| 摘 要： | 本文先介绍了微机械电子学的概况,接着介绍了几种典型的微型机械、制作技术和微型机械用材料,最后探讨了微机械电子学的研制现状和应用。
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| 关 键 词： | 微机械电子学 机械加工 腐蚀 作动器 微特电机 |
Current State of Micromechtronics |
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| Li Shuanqing.Current State of Micromechtronics[J].Micronanoelectronic Technology,1992(1). |
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| Authors: | Li Shuanqing |
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| Abstract: | This paper firstly introduces the current state of micromechtronics, and then discusses three typical micromechanisms, fabrication techniques, and materials for micromechanism. Lastly the development state and applications of micromechtronics is addressed. |
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| Keywords: | Micrtomechtronics Machining Etching Actuator Micromotor |
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