光学薄膜任意厚度控制装置及其应用

用双色三光路(2S3G)测光法来监控膜层的厚度,适当地选择两个膜层厚度终点导数最大的波长作为控制波长。当透射率达到预先计算的控制波长透射率值时,停止膜层的蒸发,实现了多层任意厚度膜系的制备。2S3G控制装置控制精度高,装置简单,便于操作和推广使用。