LPE生长外延片超有源层结构的SEM研究

通过对液相外延生长的外延片不同处理处理的研究，摸索出一条利用扫描电子显微镜来观测有源区厚度的有效方法－蒸金法，最优可观察到有源区厚度２０ｎｍ，对设计厚度为１８ｎｍ结构来说，这是一种便利有效的观察手段。