| 小型腔式微波离子源的表面波放电模型 |
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| 引用本文： | 施立群 冯慧云. 小型腔式微波离子源的表面波放电模型[J]. 原子能科学技术, 1998, 32(1): 23-30 |
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| 作者姓名： | 施立群 冯慧云 |
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| 作者单位： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
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| 摘 要： | 研究了小型腔式微波离子源的表面波放电模型。当考虑了放电管几何参量及放电参量（如压强、气体流量、微波频率等）的影响时，对低气压下的等离子体柱轴向密度分布曲线和色散特性进行了较为系统的理论描述。数值计算结果发现，放电管参数γ＝１＋ｄ／Ｒ（ｄ为管厚，Ｒ为等离子体柱半径）、介电常数εｄ和气体流量及方向对密度分布曲线影响十分显著。ＡＳｏｌａ及ＳＤｖｌａｕｄ测得的表面波产生等离子体柱轴向密度分布与计算结果一致。用该理论模型预测了这种表面波离子源的放电结果。
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| 关 键 词： | 气体放电 表面波 轴向电子密度分布 |
MODEL OF PLASMA DISCHARGE INDUCED BY SURFACE WAVES IN A COMPACT CAVITY TYPE MICROWAVE ION SOURCE |
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| Shi Liqun Feng Huiyun Yang Anbao Peng Shixiang Yu Zengliang. MODEL OF PLASMA DISCHARGE INDUCED BY SURFACE WAVES IN A COMPACT CAVITY TYPE MICROWAVE ION SOURCE[J]. Atomic Energy Science and Technology, 1998, 32(1): 23-30 |
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| Authors: | Shi Liqun Feng Huiyun Yang Anbao Peng Shixiang Yu Zengliang |
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| Keywords: | Gas discharge Surface wave Axial electron density |
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