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| 有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅱ)——热壁反应器模型及反应器中流动及传递过程的分析 | |
| 引用本文： | 丁平,袁渭康.有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅱ)——热壁反应器模型及反应器中流动及传递过程的分析[J].化工学报,1992,43(4):455-460. |
| 作者姓名： | 丁平 袁渭康 |
| 作者单位： | 华东化工学院联合化学反应工程研究所,华东化工学院联合化学反应工程研究所 上海200237 ,上海200237 |
| 摘 要： | 分析了热壁化学气相淀积反应器在流型、温度和浓度分布以及淀积速率等方面与冷壁反应器的异同,探讨了流动特性、传递过程和反应器几何尺寸对淀积过程的影响,为淀积不同薄膜时反应器的选型及设计提供了方法和依据. |
| 关 键 词： | 化学气相淀积 氮化钛 热壁反应器 |
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