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| 化学气相沉积金刚石膜工业应用 | |
| 摘 要： | 成果成熟程度
已经解决在硬质合金衬底上生长均匀致密、附着
良好的金刚石膜的技术
成果的特点
金刚石薄膜涂层硬质合金工具由于性能优异、成
本相对较低(与PCD和金刚石厚膜钎焊工具相比)、可
以适应于复杂形状工具衬底沉积、以及可能大批量沉
积等优点,具有非常好的市场前景.
金刚石薄膜涂层硬质合金工具开发的关键是解决
金刚石薄膜在硬质合金衬底上的生长(沉积)和良好附
着的技术.本项目成果采用独特的衬底预处理和优化
的金刚石膜沉积工艺已经解决了Co对金刚石膜生长
和附着的有害影响问题.在YG类硬质合金工具衬底
所沉积的金刚石膜涂层厚度最大可达20～30μm.用洛
氏硬度压痕法评定的金刚石膜附着力时的无裂纹临界
载荷达1500N以上.在铣削A1-12wt%Si合金时,金
刚石薄膜涂层的YG6铣刀比未涂层硬质合金刀片使
用寿命可提高13倍以上. |
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