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杂志ISSN号
实现平面度测量电容传感器实验研究
作者姓名:
杨有粮
作者单位:
西北工业大学
摘 要:
本文介绍了一种用于平面度测量的电容传感器的结构及其测量电路,提出了电容传感器的制作方法及实现平面度测量的设计方案,通过对该传感器进行实验和理论分析,给出了这种电容传感器可实现平面度测量的结论。
关 键 词:
平面度测量 电容传感器 电容传感器 测量电路
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