| 准分子激光放电回路的研究 |
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| 引用本文： | 邓国庆,余吟山,朱志强. 准分子激光放电回路的研究[J]. 量子电子学报, 2004, 21(4): 456-458 |
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| 作者姓名： | 邓国庆 余吟山 朱志强 |
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| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031;中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031;中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031 |
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| 摘 要： | 对高压放电泵浦的准分子激光放电回路进行了探讨。运用等效电路方法，给出了准分子激光工作气体在击穿放电前后的电路变化规律，同时分析了能量转移效率与回路参数之间的关系，这为设计高效率和稳定可靠的准分子放电回路提供了理论上的参考依据。
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| 关 键 词： | 激光技术 准分子激光 放电泵浦 等效电路 |
| 文章编号： | 1007-5461(2004)04-0456-03 |
| 收稿时间： | 2003-07-07 |
| 修稿时间： | 2003-07-07 |
Study on discharge circuit of excimer laser |
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| DENG Guo-qing,YU Yin-shan,ZHU Zhi-qiang. Study on discharge circuit of excimer laser[J]. Chinese Journal of Quantum Electronics, 2004, 21(4): 456-458 |
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| Authors: | DENG Guo-qing YU Yin-shan ZHU Zhi-qiang |
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| Abstract: | The discharge circuit of excimer laser by high voltage discharge pumping was studied theoretically. The variation laws of the discharge circuit are presented, while the relation between the energy transfer efficiency and circuit parameters were analyzed, which are the reference basis for the efficient and reliable discharge circuit design of excimer laser. |
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| Keywords: | excimer laser discharge pump equivalent circuit |
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