| 磁控溅射功率对玻璃基DLC薄膜的结构和硬度的影响 |
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| 引用本文： | 刘翔,赵青南,张泽华,李渊,曾瑧,董玉红,赵杰.磁控溅射功率对玻璃基DLC薄膜的结构和硬度的影响[J].硅酸盐通报,2018,37(10):3049-3053. |
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| 作者姓名： | 刘翔 赵青南 张泽华 李渊 曾瑧 董玉红 赵杰 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,武汉,430070;武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,武汉 430070;江苏秀强玻璃工艺股份有限公司,宿迁 223800;江苏秀强玻璃工艺股份有限公司,宿迁,223800 |
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| 基金项目： | 国家"十三五"重点研发计划子课题(2016YFB0303903-04) |
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| 摘 要： | 用直流-射频磁控溅射镀膜工艺,在不同的溅射功率条件下,制备了玻璃/SiC/DLC(diamond-like carbon)薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、共焦显微拉曼光谱仪(Raman)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、纳米显微硬度仪,研究了DLC薄膜的组织结构、物相组成、表面形貌、维氏硬度.结果表明,随着功率的增大,ID/IG值先增大后减小,薄膜硬度呈现先增大后减小的趋势;当溅射功率为200 W时,ID/IG值为0.56,镀膜玻璃的硬度值最大(830 HV),相比未镀膜的玻璃基片,硬度值增加了23.88％.
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| 关 键 词： | DLC薄膜 硬度 磁控溅射功率 过渡层SiC |
Effects of Sputtering Power on Structure and Hardness of DLC Thin Films Deposited on Glass Substrates |
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| LIU Xiang,ZHAO Qing-nan,ZHANG Ze-hua,LI Yuan,ZENG Zhen,DONG Yu-hong,ZHAO Jie.Effects of Sputtering Power on Structure and Hardness of DLC Thin Films Deposited on Glass Substrates[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2018,37(10):3049-3053. |
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| Authors: | LIU Xiang ZHAO Qing-nan ZHANG Ze-hua LI Yuan ZENG Zhen DONG Yu-hong ZHAO Jie |
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